非接触式激光测量由激光器产生线型光束，以一定的倾角投射到待测量目标上，由于待测与基板存在高度差，此时观测到的目标和基板上的激光束相应出现断续落差，根据三角函数关系可以用观测到的落差计算出待测目标与周围基板存在高度差，从而实现非接触式的快速测量。

　　

　　非接触式激光测量采用非接触式测量材料应变，测量精度高。使用高速激光扫描仪测度试样上反射带之间的空间。标距根据用户要求制定。从而可以实现小标距进行高延伸量测量。分辨率高从而也可以进行小应变的精确测量。该扫描光束始终保持与试样垂直，这样减小了通过观察窗观察产生的误差，同时，将与试样之间的距离灵敏度降到低点。由于该测量的是反射光,在试样背面不需要接收器。

　　

　　为了验证非接触式激光测量的正确性，还对样品进行了同步热偶测温。在激光入射点1cm处的玻璃样品表面紧贴另一K型热电偶，热偶合金焊接头用银浆粘在玻璃表面。这样既可以增加接头与玻璃表面的热接触面积，增加热传导，又可以反射到达接头表面的热辐射，减小热偶本身因吸收辐射升温引起的测量偏差。热电偶的导线通过真空密封接线口接出真空腔室外。热偶温度采用电压测量端口测量，并与激光干涉探头数据同步记录下来。热偶的温度-电压关系通过纯水的冰沸点校准。