温度是薄膜生长的关键参数之一，获得薄膜生长的准确温度对于控制薄膜生长、分析薄膜生长过程、提高薄膜生长的可重复性等至关重要。恰当的测温方法对实验可能起到事半功倍的作用。测量样品温度的方法很多，根据测量方式不同，可将其分为接触式和非接触式两种。接触式温度测量即通过温度计或热电偶等温度测量仪来获得样品温度，非接触式激光测量即在不接触样品表面的情况下获得样品表面温度。